重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法

领域

产品质量检验

数据更新时间

2026-07-25

备注

废止，仅限能力项目库范围内现行有效产品标准引用本标准及监督抽检时申请

数据来源于官方 CMA 能力项目库，平台查询仅供参考，最终以官方平台为准。